【两部门:推动6英寸及以上化合物半导体、8英寸及以上光微机电系统、12英寸及以上微纳光学超结构表面等制造工艺平台建设】金十数据9月15日讯,工信部、国家发改委近日联合印发《电子信息制造业发展“十五五”规划》。规划提出,在光子关键技术和产品研发方面,微纳加工制造工艺平台,推动6英寸及以上化合物半导体、8英寸及以上光微机电系统、12英寸及以上微纳光学超结构表面等制造工艺平台建设。光电融合集成工艺平台。重点提升8英寸及以上硅基光电子低成本规模量产和多材料体系异质集成能力,突破12英寸先进制程的多维异构集成关键技术,推动光电融合集成平台建设。


  • 情报分类:硬件与数码
  • 分类依据:工信部与发改委规划半导体、光MEMS及光电融合制造平台,属硬件数码。
  • 信息来源:金十数据 · 7×24快讯
  • 发布时间:2026/9/15 09:09:12