【中科仪：拟实施集成电路干式真空泵扩产项目】金十数据10月20日讯，中科仪公告，公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目。项目资金来源为自筹资金，项目拟投资42313.48万元，其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资19144.70万元，实施主体为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23168.78万元，实施主体为中科仪（南通）半导体设备有限责任公司。

  • 情报分类：商业与市场研究
  • 分类依据：内容涉及商业、投资或市场动态
  • 信息来源：金十数据 · 7×24快讯
  • 发布时间：2026/10/20 19:13:12