IT之家 10 月 9 日消息，中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机本月 5 日宣布携手 ZEISS（蔡司）推出瞄准光罩（掩膜）、先进封装、晶圆领域高精度测量需求的 COSMA-M。 该设备 可提供纳米级测量精度 ，稳定度达 3σ＜3nm，能满足先进制程对高精度测量的严苛要求，结合配套模块可实现全自动化测量。 IT之家了解到，COSMA-M 应用范围覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV、CPO 等领域 ，已获得部分潜在客户的送样验证测试。

  • 情报分类：技术学习与提效
  • 分类依据：内容涉及技术、AI、软件工具或工程实践
  • 信息来源：资讯 / IT之家
  • 发布时间：2026/10/9 16:53:32